在外延生長(zhǎng)領(lǐng)域，高純石墨盤(pán)是必不可少的。它在外延生長(zhǎng)中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用。目前，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤(pán)在結(jié)構(gòu)上基本相同，均采用在石墨盤(pán)基座上設(shè)計(jì)一個(gè)晶圓形狀的淺凹槽的方式來(lái)裝載晶圓。這種設(shè)計(jì)在生長(zhǎng)小尺寸的晶圓(比如說(shuō)4寸半導(dǎo)體晶圓)來(lái)說(shuō)是合理的，維護(hù)起來(lái)也很方便。但對(duì)于生長(zhǎng)大尺寸的外延片，基于降低晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤(pán)甩出的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓槽底部相對(duì)于石墨盤(pán)頂部的高度比小尺寸石墨盤(pán)大一些。